显微分光膜厚仪 OPTM SERIES
非接触 · 非破坏 · 显微、对焦、测量1秒完成
OPTM系列显微分光膜厚仪是一款可替代椭偏仪，测试膜厚、折射率n、消光系数k、绝对反射率的新型高精度、高性价比的分光膜厚仪。适用于各种可透光膜层的测试，并有**专利可针对透明基板去除背面反射，从而达到“真实反射率、膜厚”测试的目的。此外，软件操作简单、使用方便且简化了复杂的建模流程
产品特色
● 非接触、非破坏式，量测头可自由集成在客户系统内
● 初学者也能轻松解析建模的初学者解析模式
● 高精度、高再现性量测紫外到近红外波段内的绝对反射率，可分析多层薄膜厚度、光学常数（n：折射率、k：消光系数）
● 单点对焦加量测在1秒内完成
● 显微分光下广范围的光学系统（紫外 ~ 近红外）
● 独立测试头对应各种inline定制化需求
● 最小对应spot约3μm
● **专利可针对超薄膜解析nk
量测项目
●绝对反射率分析
●多层膜解析（50层）
●光学常数（n：折射率、k：消光系数）
膜或者玻璃等透明基板样品，受基板内部反射的影响，无法正确测量。OPTM系列使用物镜，可以物理去除内部反射，即使是透明基板也可以实现高精度测量。此外，对具有光学异向性的膜或SiC等样品，也可完全不受其影响，单独测量上面的膜。
应用范围
● 半导体、复合半导体：硅半导体、碳化硅半导体、砷化镓半导体、光刻胶、介电常数材料
● FPD：LCD、TFT、OLED（有机EL）
● 资料储存：DVD、磁头薄膜、磁性材料
● 光学材料：滤光片、抗反射膜
● 平面显示器：液晶显示器、薄膜晶体管、OLED
● 薄膜：AR膜、HC膜、PET膜等
● 其它：建筑用材料、胶水、DLC等
规格式样
（自动XY平台型）
| OPTM-A1 | OPTM-A2 | OPTM-A3 | |
|---|---|---|---|
| 波长范围 | 230 ~ 800 nm | 360 ~ 1100 nm | 900 ~ 1600 nm |
| 膜厚范围 | 1nm ~ 35μm | 7nm ~ 49μm | 16nm ~ 92μm |
| 测定时间 | 1秒 / 1点以内 | ||
| 光径大小 | 10μm (最小约3μm) | ||
| 感光元件 | CCD | InGaAs | |
| 光源规格 | 氘灯+卤素灯 | 卤素灯 | |
| 尺寸 | 556(W) X 566(D) X 618(H) mm (自动XY平台型的主体部分) | ||
| 重量 | 66kg（自动XY平台型的主体部分） | ||
选型表
|
波长范围 |
自动XY平台型 |
固定框架型 |
嵌入头型 |
|
230 ~ 800nm |
OPTM-A1 |
OPTM-F1 |
OPTM-H1 |
|
360 ~ 1,100nm |
OPTM-A2 |
OPTM-F2 |
OPTM-H2 |
|
900 ~ 1,600nm |
OPTM-A3 |
OPTM-F3 |
OPTM-H3 |
物镜
|
类型 |
倍率 |
测量光斑 |
视野范围 |
|
反射对物型 |
10x lens |
Φ 20μm |
Φ 800μm |
|
20x lens |
Φ 10μm |
Φ 400μm |
|
|
40x lens |
Φ 5μm |
Φ 200μm |
|
|
可视折射型 |
5x lens |
Φ 40μm |
Φ 1,600μm |
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