产品详情
简单介绍：
OTSUKA大塚电子OPTM-A1显微分光光学膜厚仪
详情介绍：
OTSUKA大塚电子OPTM-A1显微分光光学膜厚仪
显微分光膜厚仪 OPTM SERIES
应用范围
● 半导体、复合半导体：硅半导体、碳化硅半导体、砷化镓半导体、光刻胶、介电常数材料
● FPD：LCD、TFT、OLED（有机EL）
● 资料储存：DVD、磁头薄膜、磁性材料
● 光学材料：滤光片、抗反射膜
● 平面显示器：液晶显示器、薄膜晶体管、OLED
● 薄膜：AR膜、HC膜、PET膜等
● 其它：建筑用材料、胶水、DLC等
●非接触 · 非破坏 · 显微、对焦、测量1秒完成 ●OPTM系列显微分光膜厚仪是一款可替代椭偏仪，测试膜厚、折射率n、消光系数k、优良反射率的新型高精度、高性价比的分光膜厚仪。适用于各种可透光膜层的测试，并有一家砖利可针对透明基板去除背面反射，从而达到“真实反射率、膜厚”测试的目的。此外，软件操作简单、使用方便且简化了复杂的建模流程
规格式样
（自动XY平台型）
| OPTM-A1 | OPTM-A2 | OPTM-A3 | |
|---|---|---|---|
| 波长范围 | 230 ~ 800 nm | 360 ~ 1100 nm | 900 ~ 1600 nm |
| 膜厚范围 | 1nm ~ 35μm | 7nm ~ 49μm | 16nm ~ 92μm |
| 测定时间 | 1秒 / 1点以内 | ||
| 光径大小 | 10μm (*小约3μm) | ||
| 感光元件 | CCD | InGaAs | |
| 光源规格 | 氘灯+卤素灯 | 卤素灯 | |
| 尺寸 | 556(W) X 566(D) X 618(H) mm (自动XY平台型的主体部分) | ||
| 重量 | 66kg（自动XY平台型的主体部分） | ||
