产品名称：大塚MCPD在线薄膜评价系统MCPD-9800_MCPD-6800

MCPD系列在线薄膜评价系统

我们的MCPD 系列在线薄膜评估系统是光学的，因此可以以非接触和非破坏性的方式检查薄膜厚度、密度、颜色等。

可测量的薄膜厚度范围为 65 nm 至 92 μm，支持从薄到厚的薄膜。（当折射率为1.5时）由于

测量原理是光谱干涉法，它还支持多层厚度测量，同时实现高测量再现性。采用**的算法，可以高速实时监控，因此我们提出了最合适的系

统作为在线电影监控器。

规格

* 膜厚值换算为 n = 1.5。取决于规格

* 膜厚值换算为 n = 1.5。取决于规格

• 过程中高速薄膜测量的理想选择
• 最短曝光时间 1ms ~ * 取决于规格
• 支持远程测量
• 膜厚测量范围 65 nm 至 92 μm（SiO ₂换算）

在多点测量点切换兼容系统中，通过在TD方向上以任意宽度预先安装多支光纤，可以在不驱动光纤的情况下测量TD方向上的膜厚度分布。它可以用作涂层条件设置或实时监控。

检测器和数据处理系统是一套，通过切换光纤的光路可以进行多点测量。

在横动单元兼容系统中，通过在TD方向驱动横动单元，可以以任意宽度和任意间距测量TD方向的膜厚分布。它可以用作涂层条件设置和实时监控。

由于通过驱动横移单元进行多点测量，因此无需准备多个检测器或数据处理。

通过使用与各种法兰兼容的耐真空光纤，可以在高真空下测量反射/透射光谱。此外，采用大冢电子**的算法，不易受基膜垂直移动的影响，可作为实时监视器使用，可在计算膜厚时以高精度测量薄膜。