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  • 产品名称：大塚电子（otsuka）wafer膜厚测量系统GS-300

  • 产品型号： GS-300
  • 产品厂商：OTSUKA大塚电子
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简单介绍：
大塚电子（otsuka）wafer膜厚测量系统GS-300 大塚电子（otsuka）wafer膜厚测量系统GS-300 大塚电子（otsuka）wafer膜厚测量系统GS-300
详情介绍：

大塚电子（otsuka）wafer膜厚测量系统GS-300

装载端口兼容的膜厚测量系统 GS-300

具有图案匹配功能，XY定位精度为2um以下的系统

制品情报

特　長
  • 支持集成到Φ300mm EFEM单元的备用端口
  • 实现嵌入晶圆的布线图案的图案对齐
  • 支持半导体工艺的高吞吐量要求
  • 支持缺口对齐功能
  • 小尺寸规格

 

測定事例
  • 研磨后TSV嵌入图案晶圆的硅厚度
  • Φ300mm尺寸的晶圆厚度
规格
测量示例

■ 研磨后的300mm晶圆

Si膜厚分布（約２５ｕｍ）

Si層厚み分布（約771μｍ）


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