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  • 产品名称：OTSUKA日本大塚嵌入式膜厚监测器

  • 产品型号：
  • 产品厂商：OTSUKA大塚电子
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简单介绍：
OTSUKA日本大塚嵌入式膜厚监测器OTSUKA日本大塚嵌入式膜厚监测器OTSUKA日本大塚嵌入式膜厚监测器
详情介绍：

嵌入式膜厚监测器


实现具有波长依赖性的高精度多层膜测量！


制品情报

特　長
  • 使用光谱干涉法的薄膜厚度计
  • 搭载高精度FFT膜厚解析引擎（专利第4834847号）
  • 可以用光纤构建自由测量系统
  • 可集成到各种制造设备中
  • 可实时测量膜厚
  • 支持远程控制和多点测量
  • 使用长寿命、高稳定性的白光 LED 光源

 

測定項目
  • 膜厚

 

用　途
  • 光学薄膜（硬涂层、AR薄膜、ITO等）
  • FPD相关（抗蚀剂、SOI、SiO 2等）

装置構成

单点型

设备配置单点

  • 半导体晶片的面内分布测量
  • 玻璃基板的面内分布测量

 

多点型

设备配置多点

  • 实时测量
  • 流向质量控制
  • 还支持真空室

 

导线类型

设备配置遍历

  • 实时测量
  • 宽度方向的质量控制

测量示例

硬地膜厚度分析

硬地膜厚度分析


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苏公网安备 32050502001097号