产品详情
简单介绍：
NITTO日东MA3000Ⅲ晶圆贴膜机
详情介绍：
NITTO日东MA3000Ⅲ晶圆贴膜机
用于 300 mm 晶圆的全自动晶圆贴膜机
晶圆贴膜机（全自动） NEL SYSTEM™
这是一款全自动晶圆贴膜机，可将切割胶带粘贴在晶圆背面/切割框架上，也可将保护胶带从有图案的晶圆表面剥离。
MA3000Ⅲ
操作流程
特征
- 具有前开式晶圆盒/开放式晶圆匣
- 可用于薄晶圆
- 同轴系统（可选）
- 小（业内最小）
- 保护胶带剥离性能提高
- 可通过触摸面板和配方功能实现简易操作
- 日志文件功能标准设备
- 可添设晶圆映射扫描仪
- 符合 SECS/GEM 标准
- 符合 CE 标志 / SEMI S2/S8 规范要求
基本规格
- 可用框架尺寸：300 mm／200 mm
- 可用晶圆尺寸：300 mm／200 mm
- 可用晶圆厚度：30 um 或更厚（同轴系统），50 um 或更厚（单独）
- 吞吐量：卷胶带： 40 晶圆/小时 预切胶带： 45 晶圆/小时
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* 上述规格受晶圆/胶带/其他条件影响，而且在几种情况下还包括选择功能。
如果条件适合，也可使用超出上述规格的晶圆。 请与我们联系。
